停机坪设备
We primarily do theses works: First, for the RTCVD equipment that we required has a big chamber, high working temperature and fast temperature ramp rate, the energy that required for the high temperature working conditions was computed;
针对本课题要求的RTCVD设备的反应腔大、工作温度高和升温速度快的特点,首先对设备升温条件进行能量计算;
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